前言
由客戶提供貼片式LED燈珠(已化學剝膠),用掃描電子顯微鏡(以下簡稱SEM)進行微觀結構的觀察與測量,以判斷其功能結構有無異常。
參考標準
JY/T 010-1996 分析型掃描電子顯微鏡方法通則
GB/T 16594-2008 微米級長度的掃描電鏡測量方法通則
樣品處理:將貼片LED放入磁控離子濺射儀,進行鍍導電膜處理。
測試過程:
根據觀察位置調整馬達臺傾斜和水平旋轉的角度,調整傾斜角度時必須嚴格控制樣品臺和極靴之間的距離,以避免損傷電鏡。根據實際情況選取適當的放大倍數,調整圖像至清晰,無明顯干擾橫紋。需測量的目標,在圖片整體中應清晰可見,掃描保存后,再打開系統附帶的精準長度測量軟件進行測量。
效果圖