設備用途:
我司全新研發的超聲波掃描顯微鏡(SAT),是一種利用水為傳播媒介,利用合適頻率的超聲波,對各類材料和半導體器件進行無損檢測的設備,能夠檢測出樣品內部的氣孔、裂紋、夾雜和分層等缺陷,并以圖形的方式直觀展示。在掃描過程中,不會影響樣品性能,不會對樣品造成損傷。
應用領域:
半導體電子行業:半導體晶圓片、封裝器件、大功率器件IGBT、紅外器件、光電傳感器件、SMT貼片器件、MEMS、塑料封裝IC、晶片、PCB、LED等;
材料行業:復合材料、鍍膜、電鍍、注塑、合金、超導材料、陶瓷、金屬焊接、摩擦界面等;
設備特點:
掃描模式齊全:
1.1 超聲波傳輸時間測量(A掃描)
1.2 縱向截面成像(B掃描)
1.3 X/Y二維成像(C、D、G、X掃描)
1.4 三維掃描與成像
1.5 T掃描:檢測透射信號
具備定量測分析功能,以圖像方式直觀顯示被測件內部缺陷的位置、形狀和大小,并進行缺陷的尺寸和面積統計,自動計算缺陷占所測量面積的百分比;
具備缺陷尺寸標識、厚度與測距等功能;
具備圖像著色功能,根據灰度等級手動著色;可根據厚度變化,自動著色,可根據相位翻轉自動著色;
頻率范圍:1~100MHz,可根據實際需要更換不同頻率探頭;
自主研發檢測軟件,可根據客戶需求對功能進行持續升級。