超聲波顯微鏡 (SAT)是Scanning Acoustic Tomography 的簡稱，又稱為C-SAM (C-mode Scanning Acoustic Microscope)。此檢測為應用超聲波與不同密度材料的反射速率及能量不同的特性來進行分析。 利用純水當介質傳輸超聲波信號，當訊號遇到不同材料 的界面時會部分反射及穿透，此種發射回波強度會因為材料密度不同而有所差異，掃描聲學顯微鏡就是利用此特性，來檢驗材料內部的缺陷并依所接收的信號變化將 之成像。

目的：

無損檢測電子元器件、LED、金屬基板的分層、裂紋等缺陷（裂紋、分層、空洞等）；通過圖像對比度判別材料內部聲阻抗差異、確定缺陷形狀和尺寸、確定缺陷方位。

應用范圍：

塑料封裝IC、晶片、PCB、LED

測試步驟：

確認樣品類型→選擇頻率探頭→放置測量裝置中→選擇掃描模式→掃描圖像→缺陷分析

依據標準：

IPC/JEDEC J-STD-035 ,IPC/JEDEC J-STD-020, MIL-STD 883G, GJB 548B






                                              分層/lead frame