無塵車間
無塵車間凈化工程之定義為將一定空間范圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給于特別設計之密閉空間。
無塵車間凈化工程亦名無塵室或清凈室,目前已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、醫藥、食品制造等行業不可或缺的重要設施。近幾年來,由于技術之創新發展,對于產品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國在科技發展上極為重視的項目。
無塵車間凈化工程一般包括:
1、 潔凈生產區
2、 潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)
3、 管理區(包括辦公、值班、管理和休息等)
4、 設備區(包括凈化空調系統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房)
無塵車間凈化工程凈化原理
氣流→初效凈化→空調→中效凈化→風機送風→管道→高效凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌
等顆粒 → 回風百葉窗→初效凈化 重復以上過程,即可達到凈化目的。
無塵車間凈化工程凈化參數
換氣次數:100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa
平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。
溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產生靜電。
噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度300LX。
ISO14644-1(國際標準)
空氣潔凈度等級(N) |
大于或等于所標粒徑的粒子zui大濃度限值(個/每立方米空氣粒子 |
|||||
0.1um |
0.2um |
0.3um |
0.5um |
1.0um |
5.0um |
|
ISO CIass1 |
10 |
2 |
|
|
|
|
ISO CIass2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
||
ISO CIass3 |
1,000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
ISO CIass4 |
10,000 |
2,370 |
1,020 |
352 |
83 |
|
ISO CIass5 |
100,000 |
23,700 |
10,200 |
3,520 |
832 |
29 |
ISO CIass6 |
1,000,000 |
237,000 |
102,000 |
35,200 |
8,320 |
293 |
ISO CIass7 |
|
|
|
352,000 |
83,200 |
2,930 |
ISO CIass8 |
|
|
|
3,520,000 |
832,000 |
29,300 |
ISO CIass9 |
|
|
|
35,200,000 |
8,320,000 |
293,000 |
注:由于涉及測量過程的不確定性,故要求用不超過三個有效的濃度數字來確定等級水平 |